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한국크린필터CLEAN FILTER KOREA
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최고의 기술력으로 완성된 한국크린필터의 제품 라인업입니다.

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ULPA Filter
HIGHEST QUALITY

ULPA Filter

0.1µm 입자를 99.999% 이상 제거하는 초고성능 필터 솔루션입니다.

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    Efficiency99.9995% @ 0.12µm
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    ApplicationSemiconductor Fab, Wafer Process
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    MediaHigh Density Micro-glass Fiber
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    FrameAluminum Anodized
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제품 특징 (Features)

  • arrow_rightBrownian Motion(확산) 극대화 설계로 초미세 입자 포집 효율을 극대화했습니다.
  • arrow_right초고밀도 미디어 사용 및 저차압 기술을 적용하여 에너지 효율을 높였습니다.
  • arrow_right반도체 제조 공정(Photo, Etch 등)의 초청정 환경에 최적화되었습니다.
  • arrow_right가스 발생이 없는 무발진 소재를 사용하여 오염을 방지합니다.

기술 사양 (Specifications)

ModelDimensions (mm)Rated Airflow (CMM)Initial Resistance (mmAq)
U-610-610-75610 x 610 x 751030.0
U-1220-610-751220 x 610 x 752030.0
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